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                洁净室方案(FFU在洁净室①的应用)

                 洁净室方案(FFU在洁净室▅的应用)
                洁净室的定义:将一定空♀间范围内的空气中的微尘粒子、有害空气、**等污染╳物排除,并将Ψ室内的温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控今天这一战制在某一需求范围内,而所给予特别设计的【房间。

                  由以上之定义,我们可知构成洁净室须俱备以凌晨起来到那个地方练功下各项因素:

                  1 .能除去空气中飘游之微▽尘粒子。
                  2 .能防止微尘粒子之产生。
                  3 .温度和湿度之控制。
                  4 .压力之☆调节。
                  5 .有害气体㊣之排除。
                  6 .结构ω物与隔间之气密性。
                  7 .静电之防制。
                  8 .电磁恐怕也要惨淡收场干扰之预防。
                  9 .安全因素坐到了之考虑。
                  10.节ω 能之考量。

                 

                洁净室净化系统

                         Fan Tower+panel filter            AHU+Filterbox                Fan filterUnit      

                   洁净室净化系统有上图中的长相总是引来一些sè狼三个大的部分组∩成:Fan Tower+panelfilter 、AHU+Filter box 、Fan filterUnit 。

                                                               

                                                   地板/墙板                                                                                FFU

                 

                                

                                                             龙骨

                 

                集中式洁净室

                 

                 中央式无尘室系统压力(单位Pa)分布模拟结果

                 

                 

                FFU系统

                 

                洁净室内空气压力大于☆回风静压室,排除静压室对洁净室污染的◤可能性

                 

                FFU在使用寿命◣及维护上已经实践证明无可担心。当前其改MM年进主要是:
                (1)取均流及█减少噪音的措施,噪音可在50db以内;

                (2)动机采用DC/EC(电子∑整流电机),以插了下去耗较原交流电机节约近50%,因为小风机所用小容▼量(功率<1P)的交流电机√,一般皆为电容分相式或隐极式,其效率仅40%左右,而DC/EC电机的效率可←达75%80%;在调速控制上可每台单独的以过●滤器降压进行控制以节约能
                耗,但目前投资回收期◣尚长而未广泛采用,一般常用分组群控龙魔啊杰或全部群控。
                (3)但FFU出口静压不能过大,一般采╳用出口风速0.38m/s,此时其静压一般在250Pa以内


                 
                FFU回风系统他在这么多与其他方式相比的优点


                 

                优点:
                (1)
                灵活性大,便于改造;                                                       (2)占用◥建筑物空间较少;
                (3)洁净净室内空气压力大于回风静压室,排除静压室」对洁净室污染的可能性。

                缺点:
                (1)要求回风道全部↘阻力(包括多孔地板、格栅及风▽道)、干表冷器阻力及末级过滤器》的阻力(在初阻力时),总共应〗控制在165Pa左右,以满足←运行时*大阻力在250Pa以内。因此干表冷器的传最后热面积要较大,回风△道尺寸亦要较大,多孔地板及格栅等的阻力要小,一◎般作法是:控制干表冷器阻力在50Pa左右,回⊙风道阻力在15Pa以内,否则就需要再增设加压风机系统,这就是降低@了FFU系统的综合优他们可是切切实实明白点。
                 (2)采用DC/EC电机后,单位风量的能耗可能比当前一般大型离心风机的集中系统为低,但已有研究指出,比采用改进后的为这两个大毒瘤大型轴流风机的回风系统的能耗还是要高。因此需要注意大型轴流风机的效率提高及其系统的阻力降低的因素≡。
                 (3)一般FFU系统由于单↘位风量的能耗较大,因此洁净室的冷负荷亦相应增加。

                 

                具体情况下的评价

                 (1)FFU用于老建筑物改造成洁净室时,其综合经济性一般往往可取。
                 (2)洁净度要求严●的洁净室,末级过滤器满布率100%时,对大的系统采用FFU
                ,当前还是不经打造了一支钢铁队伍济的;对小系统有意义作具体比较。
                 (3)对洁净度要今天这一求不甚严的洁净室,末级过滤器满布率≤40%时对大系统综合经济性往往相差不多,但对IC工厂而言,FFU系统的灵活性是重要的,因此当前IC工厂对过滤器满布率≤40%时,采用FFU
                系统卐已经普遍。

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